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我们的硅晶片清洗机的产品信息如下:
1、用于硅晶片清洗腐蚀;
2、清洗规格:2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette;4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
3、工艺说明:手动方式实现放件,取件,槽体间传送件;
4、设备形式:室内放置型;
5、腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
6、工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;
7、机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域;
8、药液供给及补液方式:分体式CDS自动供液系统;
9、DI槽配有在线式水质检测装置。
10、非标设备,根据客户需求具体定制,欢迎咨询详情!
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