MASTER超快激光加工系统

• 特点

• 用于微米级激光精密加工
• 用于科研和工业加工
• 高能量的皮秒或飞秒激光脉冲
• 波长范围涵盖红外到紫外
• 多种激光、机械和光学部件可选
• 专业的激光微加工和系统控制软件
• 独立的防震花岗岩平台，Ⅰ类激光安全防护
• 温度和空间位置的高精度控制
• 应用范围涵盖太阳能电池硅片划片、柴油机喷嘴打孔和超硬材料的刻膜

• 参数

X-Y平台
X-Y行程	200mm
最大移动速度	2000mm/s
最大线性加速度	30m/s2 （空载）
精度	±1μm
重复精度	0.10μm
Z轴
Z轴行程	100mm
最大移动速度	400mm/s
最大线性加速度	30m/s2 （空载）
精度	±1μm
重复精度	0.10μm
光学
光斑直径 (与波长和镜片相关)	≥3μm
输出光束	单一或多波长可选
控制
系统控制	工业控制计算机，带液晶显示屏和键盘，基于MS Windows的SCA控制软件
激光与运动控制同步	激光脉冲同步输出
其它参数
体积（W×D×H）	1300×1200×1700mm
最大功耗	4500W
注：各项参数均有更多选择，欢迎致电详询;外观尺寸可能因设计会有变更，恕不另行通知;皮秒及飞秒激光器可选。