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二次配管工程:从主系统预留阀(Take off Valve)接至工艺机台(Tools)的工艺配管工程。
包含大宗气体(Bulk Gas)、特气(Specailily Gas)、排风(Exhaust)、化学品(Chemical)、配电(Power)、工艺真空(PV)、纯水(UPW)、冷却水(PCW)、市政水(CW)、废液排放(Drain)、泵排(Pump line)
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