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【T系列—纳微检测仪】
专利号：ZL201220088148.1
功能描述：
1. 可测微观尺寸范围：0.5～1000微米；
2. 专利套刻算法软件系统，可换算9大套刻工艺参数；
3. 高精度开放式线性反馈系统，可测点距范围：1.0～200毫米；
4. 全面的观察手段：自由切换透射、反射、环形照明及明、暗场观察法；
5. 高精度快速自动聚焦，排除人为误差；
6. 配备安全的电气及操作防护系统，保障运行更安全稳定。
系统配置：
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用途
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1. 微观尺寸、套刻分析 2. 点距测量 3. 缺陷标注
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型号
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TJC-750A
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载物台
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行程：158mm x 158mm/210mm x 210mm可选
手动/自动载物台可选，自动上下片装卸装置可选
支持夹具定制
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反馈系统
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线性反馈尺，解析率：1.0um/ 0.1um可选
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聚焦
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电动聚焦系统，影像/ 激光自动聚焦可选
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探测系统
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高品质工业用显微镜，5x～150x 物镜可选
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照明系统
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透射、反射照明可选，可切换明、暗场观察法
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软件系统
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全功能图像处理软件系统及批处理测控语言，支持拼图功能，
提供各类数据库接口，可将测量结果上传至工艺主控终端
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检查性能
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微观两维尺寸检测3σ≤10纳米，
精度 ±10纳米
全行程点距误差 （2+2L/100）um， L:行程（mm）
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隔震系统
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隔振平台，有效隔离高频振动
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标配外观尺寸
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长：1200mm 宽：800mm 高：1500mm
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