去胶清洗机CSE_半导体材料腐蚀清洗机_Aci&Alk Cleaner_Cleanning Equipment_Equipment

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去胶清洗机CSE
设备概况
●设备名称：去胶清洗机
●设备型号：CSE-JR11-QJ03
●整机尺寸(参考)：约2300mmL×1400mmW×2000mmH；
●硅片尺寸：2寸～6寸
●工作环境：室内放置；
●操作形式：手动
●重量：650Kg( 大约)；

机台台面
QQ图片20160314123320.png

整机构造
●骨架：德国进口10mmPP板，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐；
●外壳：德国进口10mmPP板；
●安全门：采用透明上下推拉门；
●管路：管路位于下后部，以节省空间，采用英制接口；
●灭火系统：烟热感应CO2自动灭火系统位于工作台面上部；
●排风：根据流体学原理设计位于机台后上部，并配有导流和风量调节装置；
●工作照明：机台上方配照明（与工作区隔离）；
●台面板为优质不锈钢材质（带有漏液孔）；
●DI/N2 GUN：可伸缩的DI水枪和气枪各2把，分置于工作区两侧；
●人机界面：Touch Screen彩色界面；
●支脚：有滑轮装置和固定装置，可调整高度和锁定；
●三色报警等和蜂鸣器

控制系统
●PLC可程式控制器（欧姆龙）＋Touch Screen彩色人机界面操作。
●制程参数皆采用可设定、修改；
●操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。
●配有独立配电箱，电路区进行功能分块，强电、弱电块，以便于维护；
●具Password功能以避免操作人员误改参数：
       Password-1.启动及可进入自动模式內容。
       Password-2可进入编辑模式修改制程参数。
       Password-3可进入手动模式。
安全保护
●设备采用耐腐蚀导线并采用氟套管进行保护，防腐防水；
●设有防漏电断路保护装置；
●电控部分正压空体保护，防水防腐；
●设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；
●EMO 装置紧急按钮开关；
●蜂鸣器声鸣提示工作完成，三色报警灯及蜂鸣声光故障报警；
●烟热感应CO2自动灭火系统位感应到烟热后自动灭火保护；
●机台底部设有防漏盘及漏液感知；
●液位异常感知/安全液位保护；
●加熱过温保护和防干烧；