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    去胶清洗机CSE

    Applied to the semiconductor industry:

    Cleanning Equipment-Aci&Alk Cleaner-半导体材料腐蚀清洗机

    In stock:

    100

    Place of origin:

    National

    Quantity:

    cut back increase

    price:

    Negotiable
    Transaction guarantee Secured Transactions Online banking to pay

    consumer hotline:00864001027270

    去胶清洗机CSE
    设备概况
    ●设备名称:去胶清洗机
    ●设备型号:CSE-JR11-QJ03
    ●整机尺寸(参考):约2300mmL×1400mmW×2000mmH;
    ●硅片尺寸:2寸~6寸
    ●工作环境:室内放置;
    ●操作形式:手动
    ●重量:650Kg( 大约);

    机台台面
      QQ图片20160314123320.png 

    整机构造
    ●骨架:德国进口10mmPP板,优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐;
    ●外壳:德国进口10mmPP板;
    ●安全门:采用透明上下推拉门;
    ●管路:管路位于下后部,以节省空间,采用英制接口;
    ●灭火系统:烟热感应CO2自动灭火系统位于工作台面上部;
    ●排风:根据流体学原理设计位于机台后上部,并配有导流和风量调节装置;
    ●工作照明:机台上方配照明(与工作区隔离);
    ●台面板为优质不锈钢材质(带有漏液孔);
    ●DI/N2 GUN:可伸缩的DI水枪和气枪各2把,分置于工作区两侧;
    ●人机界面:Touch Screen彩色界面;
    ●支脚:有滑轮装置和固定装置,可调整高度和锁定;
    ●三色报警等和蜂鸣器

    控制系统
    ●PLC可程式控制器(欧姆龙)+Touch Screen彩色人机界面操作。
    ●制程参数皆采用可设定、修改;
    ●操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。
    ●配有独立配电箱,电路区进行功能分块,强电、弱电块,以便于维护;
    ●具Password功能以避免操作人员误改参数:
           Password-1.启动及可进入自动模式內容。
           Password-2可进入编辑模式修改制程参数。
           Password-3可进入手动模式。
    安全保护
    ●设备采用耐腐蚀导线并采用氟套管进行保护,防腐防水;
    ●设有防漏电断路保护装置;
    ●电控部分正压空体保护,防水防腐;
    ●设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统;
    ●EMO 装置紧急按钮开关;
    ●蜂鸣器声鸣提示工作完成,三色报警灯及蜂鸣声光故障报警;
    ●烟热感应CO2自动灭火系统位感应到烟热后自动灭火保护;
    ●机台底部设有防漏盘及漏液感知;
    ●液位异常感知/安全液位保护;
    ●加熱过温保护和防干烧;


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