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一、 产品用途及特点
本设备主要适用于6英寸及以下半导体材料(如硅、碳化硅、砷化镓、磷化铟…等)及蓝宝石、硅化物、陶瓷、玻璃、水晶等硬脆材料的高速高精度多片切割加工,主要有以下特点:
1. 设备具有精密温度控制系统,采用热交换器对切削液进行冷却,以确保切削液的温度控制,切片精度高,翘曲度小,切片质量稳定,切割成本小。
2.该设备采用全伺服电机驱动,导轮使用少,路径简短,稳定可靠,装配维修迅速。
3.电气控制系统采用贝加莱控制系统及伺服驱动系统,控制精度高、响应速度快,并具有能量回馈功能(可将减速过程中的动能转化为电能回馈至电网),降低了运行成本;齐备的工艺参数设置显示,拥有20套20步的切割工艺,最大限度的发挥设备硬件功能;另有自定义选项,用于满足客户的特殊操作要求;并可选配工厂网络接口,可实现远程监控。
4. 该设备采用双主辊同步拖动,能够减少罗拉磨损、保证线网张力的稳定、张力摆臂稳定。主轴各导轮采用间隙迷宫结构,并辅以压缩空气进行密封;轴承润滑采用脂润滑方式,安装维护方便;轴承座外周设有冷水套,对主轴内的轴承进行强制冷却。
5.设备具有断线检测功能,及时报警停机,准确可靠。
6.设备操作简单,保养方便。
二、设备主要技术参数
1、最大加工尺寸
方料:(宽×高×长)150mm×150mm×300mm
圆料:(直径×长度)φ150mm×300mm
2、线辊主轴
主轴参数:φ190mm±7.5mm×310mm×2轴
轴间距:450mm
3、切割线
切割最大线速度: 15m/s
钢线直径: φ0.10mm~φ0.25mm
供线轮绕线能力: 30km×1
4、工作台
升降行程: 最大225mm
切削速度: 0.01-9.99mm/min(根据用户工艺可自行设定)
快速移动速度: 最高300mm/min
5、主轴摆动
摆动角度: ±7deg
主轴摆动速度: 30次/min
6、供砂系统
液桶容量: 90L
供砂量: 最大200L/min
砂浆温度控制方式: 热交换器冷却
7、动力单元功率
主轴驱动电机: 17.8kW (交流伺服)
切割线供给/回收电机: 7.37kW×2 (交流伺服)
排线电机: 0.33kW×2 (交流伺服)
工作台升降电机(带减速) 1.45kW (交流伺服)
张力控制电机: 4.15kW×2 (交流伺服)
主轴摆动电机(带减速): 1.8 W (交流伺服)
砂浆泵电机: 4kW/3kW (变频控制)
8、外形尺寸(长×宽×高): 2550 mm×1900 mm×2450mm
9、设备重量: 约5500kg
10、噪声: ≦75dB(A)
三、产品选配表:
序号 |
名称 |
标配 |
可选 |
备注 |
1 |
供液桶及回液桶1套 |
● |
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2 |
导轮 |
● |
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3 |
内六方扳手 |
● |
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4 |
减震垫铁 |
● |
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5 |
测力辊包胶 |
● |
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6 |
扳手组件 |
● |
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7 |
球头工装 |
● |
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8 |
拆卸工装1 |
● |
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9 |
拆卸工装2 |
● |
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10 |
轴承拆卸工装1 |
● |
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11 |
轴承拆卸工装2 |
● |
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12 |
滑套拆卸工装 |
● |
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13 |
收放线辊 |
● |
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14 |
切割辊 |
● |
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15 |
工件安装台 |
● |
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16 |
粘料板 |
● |
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17 |
螺钉M8×20 |
● |
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18 |
弹垫8 |
● |
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19 |
螺钉M8×16 |
● |
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20 |
螺钉M8×20 |
● |
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21 |
扭矩扳手及其附件 |
● |
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22 |
冷水机 |
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○ |
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●标配 ○可选装
四、使用环境:
设备应安装在地面平坦,安装厚度应大于300mm,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。
1、工作温度: 15℃-25℃
2、气源: 0.4-0.6MPa
3、相对湿度 ≦90%
3、冷水水源: 0.25-0.4MPa 100-150L/min 7-12℃
4、电源: AC380V,50Hz (三相五线制)
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