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商品介绍 | 关于发票:如需开票的客户请备注好开票单位 |
产品名称 | 6英寸双面抛光硅片 |
生长方式 | 直拉单晶(CZ) |
直径与公差 |
150±0.4mm |
掺杂类型 | N型(掺磷、砷、锑) P型(掺硼) |
晶向 | <111><100><110> |
电阻率 | 0.001-50(Ω•cm) 可按客户要求定制 |
工艺数据 | 平整度TIR:<3μm 、 翘曲度TTV: <10μm 、 弯曲度BOW<10μm 、粗糙度<0.5nm、颗粒度< 10 (for size > 0.3μm) |
包装方式 | 超洁净铝箔真空封装10片包装、25片包装 以上价格为每片硅片的价格 |
现有库存 | 650um |
加工与订制 | 客户有需要不同参数如:型号、晶向、厚度、电阻率等,加工周期需看规格参数工期1-3周不等 详情可与本公司联系 |
用途介绍 | 用于工艺等同步辐射样品载体、PVD/CVD镀膜做衬底、磁控溅射生长样品、XRD、SEM、 原子力、红外光谱、荧光光谱等分析测试基底、分子束外延生长的基底、X射线分析晶体半导体 |
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