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    PLD脉冲激光沉积系统

    Applied to the semiconductor industry:

    Processing Equipment-PVD-电子束蒸发

    Product brand

    Neocera

    In stock:

    1000

    Place of origin:

    China-北京市

    Quantity:

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    price:

    Negotiable
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    Concerned Products

    Brand:Neocera

    model:

    Own series:Processing Equipment-PVD-电子束蒸发

     仪器简介:

    激光脉冲镀膜(PLD)是一种用途广泛的薄膜沉积技术。脉冲激光快速蒸发靶材,生成与靶材组成相同的薄膜。PLD的独特之处是能量源(脉冲激光)位于真空室的外面。这样,在材料合成时,工作压力的动态范围很宽,达到10-10 Torr ~ 100 Torr。通过控制镀膜压力和温度,可以合成一系列具有独特功能的纳米结构和纳米颗粒。另外,PLD是一种“数字”技术,在纳米尺度上进行工艺控制(A/pulse)。

    主要特点:

    *PLD概念清晰易懂:激光束使靶子表面蒸发,生产出与靶子同样化学组成的膜。
    *PLD应用广泛:很多材料在多样的气体环境和很宽的气体压力范围内都可以镀膜。
    *PLD节省成本:一束激光能够供多个真空系统使用。
    *PLD高效率:在10至15分钟,可生长高质量的样品。
    *PLD可升级:当需要大批量生产复合氧化物膜时,Neocera公司将证明PLD作为生产工具的价值。


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