一、基板
材料:Si、Mo、Glass、GaN、GaAs等
尺寸直径:2-8英寸圆片及各种形状的基板
二、真空条件
油旋片泵+低温泵U16P
极限压强:小于3.0*10-6Pa
排气速度:20分钟内达到3.0*10-6Pa
三、成膜
蒸发源:电子束式,10KW/16KW,坩埚型号20cc、40cc、110cc(可选),热阻式:备选。
行星式:公转式,卫星式
基板内:基板均匀性在5%以内
四、加热方式
红外灯加热,最高350℃
五、操作模式
GPCS-2700触摸屏控制,PC+PLC
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