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项目
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参数
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极限真空
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低于9.0E-5pa
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恢复真空
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10min内达到3.0E-3pa
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保真空
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低于9.0E-2pa
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温度均匀性
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280℃±10℃(30min加热后)
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成膜均匀性
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小于5nm
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成膜再现性
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小于5nm
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成膜控制
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专业全自动软件控制
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