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1)半导体集成电路:去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层等
2)太阳能:制绒、硅片清洗、PSG清洗、石英管清洗、石墨舟清洗等
3)还适用于LED、分立器件、材料等行业
产品特点:
1)清洗系统分手动、半自动、全自动三大类。
2)手动与半自动清洗设备结构合理紧凑,实用便捷;全自动清洗设备自动化程度高,触摸屏操作,方便直观,关键件进口,可靠性高
3)可根据不同的清洗工艺定制相应清洗设备
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