产品特点： 
◆主机为水平一至三管炉系统构架，能独立完成不同的工艺或相同工艺 
◆仪表控制系统，对炉温、气体流量、阀门等动作进行自动控制 
◆关键部件采用进口器件，确保设备的高可靠性 
◆控温精度高，温区控温稳定性好； 
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 
◆高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定性及长寿命

扩散炉主要技术指标 
1、工艺说明 
1.1工艺：氧化、扩散、合金、退火等 
1.2氧化：干氧工艺，湿氧工艺（去离子水） 
1.3扩散：硼扩、磷扩（液态源、固态源等）

2、系统组成：主机（炉体、石英/SiC管、功率组件等)、净化工作台、气路气源系统（气源柜）、仪表控系统等组成

3、送片方式：手动送片/自动送片

4、扩散炉配置（可选）：
4.1仪表控制/触摸屏控制 
4.2工艺管（水平结构）：1-3管 
4.3工艺规格：2~6英寸晶圆
4.4恒温区长度：1100value="250" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">-250mm
4.5晶圆装载：推拉式（石英舟车） 
4.6工作台：有净化/无净化

5、扩散炉主要技术参数： 
5.1工作温度：200～value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1300℃
5.2加热体控制点：3/5点
5.3炉体恒温区：value="110" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">110mmvalue="200" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">-200mm 
5.4恒温区精度：＞value="800" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">800℃/±value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">0.5℃ ，＜value="800" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">800℃/±value="1" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value="1" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1℃
5.5单点温度稳定性：600～value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1300℃/ ±value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">0.5℃/24h
5.6最大可控升温速度：value="15" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">15℃/min
5.7最大降温速度：value="5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">5℃/min（900～value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1300℃）
5.8供电：三相五线，380VAC/50HZ