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产品名称：TYG-2000/T1步进投影光刻机 |
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主要技术指标： |
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| 曝光场面积：10mm×10mm | ||
| 分辨力：1μm； | ||
| 照明不均匀性：±2% | ||
| 物镜倍率：5倍(缩小) | ||
| 光源：350W球形汞灯（曝光谱线： i线） | ||
| 基片尺寸：3 英寸 、4 英寸 | ||
| 工件台运动范围：X：>150mm、 Y：>150mm； | ||
| 工件台运动定位精度：±0.65μm | ||
| 调焦台运动灵敏度：1μm | ||
| 对准精度：±0.5μm | ||
| 调焦台运动行程：5mm | ||
| 检焦：CCD检测，检测精度0.5微米 | ||
| 转动台行程：±4°以上 | ||
| 基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可适应非标准片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm | ||
主要技术配置： |
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| （1）照明系统：冷光椭球镜; 350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗); XYZ汞灯调节台; 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜负透镜、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2; 冷却风扇 （2）工件台系统：X台：电机驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本NSK）、导轨2（日本THK）、光栅（美国） Y台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本NSK）、导轨2（日本THK）、光栅2（美国） 转动台：电机及驱动器（日本乐孜），转动轴系 调平台：电机及驱动器（3套）、调平机构 Z台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠、上升导向机构; 承片台：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等） （3）检焦系统：焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件 （4）对准系统：对准光学检测系统（2套）、CCD（2套）、对准软件 （5）电控系统：汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、显示器、接口 （6）其他部件：底座 减震器（4个);控制柜桌;气动系统;电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表 （7）其他附件：真空泵一台(无油泵);空压机一台（静音泵）;管道 |
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