数字全息显微镜DHM采用CCD记录全息图中包含物体相位信息，通过计算机进行实时数值重建得到实时三维形貌图。
主要特点：
1、非扫描、非接触、超高速大面积、动态三维形貌表征（速度可达1000fps）
2、纵向亚纳米分辨率
3、按照国际标准进行粗糙度测量，无损样品无惧振动，选配MEMS频闪模块、荧光模块等拓展更多应用。
产品特色：
超高速记录动态三维形貌
DHM? 采用非扫描机制，采集单帧图像 既能记录样品表面三维形貌，因此拥有其他技术无法匹敌的图像采集速度。使用标准相机采集速度为视频速率30帧/秒，而高速相机可以达到1000帧/秒，使得以下应用变为可能：
? 研究可形变样品三维动态响应
? 表面大区域扫描分析
? 高产量常规检测
? 生产线在线三维形貌捕捉
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MEMS测振分析，高可达25 MHz
频闪模块(可选配件)可同步DHM? 测量时激光脉冲与 MEMS器件的激励信号，获取振动周期内的全视场振动模态。 这些特有的分析数据可提供以下信息：
? 三维形貌时序图
? 频率共振分析和响应分析
? 面内面外振幅分析(面内振幅测量精度1nm，面外振幅测量精度5pm)
? 复杂运动表征，振动模态表征，样品动态三维形貌	多种可控环境下测量
独特的光学原理和光路设计使得DHM? 能够满足使用者在各种环境下的测量需求，提供灵活和便利的测量体验：
? 透过玻璃(盖玻片、载玻片、玻璃窗口)或者浸润液
? 观测环境控制箱或真空腔内部样品，可改变环境参
数，比如温度、湿度、气压、气体成分等


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测量透明样品三维形貌
得益于DHM? 多激光源配置，通过专用反射分析软件(可选配件)可以表征透明薄膜样品，包括：
? 透明结构表面形貌
? 多层透明薄膜组成结构的厚度、折射率，测量范围
可从10纳米至几十微米
? 柔性材料或是液体的形貌

参数指标：
系统
DHM型号	R1000	R2100	R2200
激光光源数量	1	2	3
工作波长 (± 1.0 nm)	666 nm	666 nm, 794 nm	666 nm, 794 nm, 680 nm
激光波长稳定性	0.01 nm/ °C (666 nm)
样品台	手动或电动XYZ样品台，大移动范围 300 mm x 300 mm x 38 mm
物镜	放大倍数1.25x  至 100x，可选标准物镜、高NA值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等
物镜台	6口旋转物镜台
电脑	Dell新工作站，Intel? 多核处理器，高性能显卡 针对DHM优化配置，小21寸显示器
专用软件	Koala专用数据采集分析软件，基于C++ 和.NET 
附加专用分析软件供不同应用分析(MEMS Analy sis Tool，  Cell Analy sis Tool，  Reflectometry Analy sis)
数据格式	多种保存格式，数据格式包括.bin格式和.txt格式 图像格式包括.tif格式和.txt矩阵格式

性能
测量模式	单激光波长 666 nm	双激光合成波长 4.2 μm	双激光合成波长 24 μm
可用该测量模式的DHM型号	R1000, R2100, R2200	R2100, R2200	R2200
测量精度1   [nm]	0.15	0.15 / 3.0 *	20
纵向分辨率2 [nm]	0.30	0.30 / 6.0 *	40
测量可重复性3    [nm]	0.01	0.01 / 0.1 *	0.5
动态可测纵向范围	大 200 μm	大 200 μm	大 200 μm
大可测台阶高度	大 333 nm4	大 2.1 μm4	大 12 μm4
适用样品表面类型	平滑表面	复杂或非连续结构表面              	复杂或非连续结构表面
垂直校准	由干涉滤光片决定，范围 ±0.1 nm
图像采集时间	标准 500 μs (快可选10 μs)
图像采集速率	标准 30 帧/秒 (1024 x 1024 像素) (快可选 1000 帧/秒)
实时重建速率	标准 25 帧/秒 (1024 x 1024 像素) (快可选 100 帧/秒)
横向分辨率	由所选物镜决定，大 300 nm**
视场	由所选物镜决定，范围从 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm **
工作距	由所选物镜决定，范围从 0.3 至 18 mm**
数码聚焦范围	高50倍于景深 (由所选物镜决定)
小可测样品反射率	低于 1%
样品照明	低 1 μW/cm2
频闪模块	适用于单光源和双光源模式

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