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*真空舱体 Φ100mm × L270 mm 水平 (2 升)
*不锈钢舱体
* 40KHz射频发生器
*高效针孔电极
*铜气体管、气体流量计、针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
*自动计时器控制等离子处理过程
*半自动控制
*功率连续可调 0-100W
*自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
*安全保护功能：真空触发、舱门锁
*电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体
*规格：W345 mm×H220 mm× D420 mm
* 电源：AC 220V/50Hz
*真空泵：莱宝Leybold Type S1.5(1.5m3/h).
选装件.
* 13.56 MHz射频发生器
* 2.45 GHz 射频发生器
* 硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体
配件选装指南:
- · 射频发生器 · 射频发生器 · 半自动控制系统 · 全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统
- · 计算机(PC)控制系统 - 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程
- · 附加气体通路 · 自动真空舱门 · 设备自动门 · 条码阅读器 · 偏压测量系统 · 碟型阀 · 排气过滤系统 · 适用于腐蚀性气体系统 · 舱体托盘可订做 - 适合舱体的最佳尺寸 · 粉末处理装置 · 法拉第容器 · 气体供给系统 - 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体 · 玻璃舱体(硅酸盐或石英) · 预热板 · 等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中
· 真空泵抽气入口过滤器 · 标签打印机 · 标签阅读机 · 加深舱体 · 单体瓶 - 轻松的控制不稳定的液体含量
- · 网络连接系统 · 聚合处理附件 · 气瓶出气减压阀 · 石英玻璃皿 · 卷轴舱体系统- 适用于批量处理薄膜、箔等
- · RIE电极(适用于刻蚀) · 旋转舱体系统 - 适用于纤维、纺轮、颗粒状等样品的均匀、批量处理 · 安全阀
- · 服务条约 - 使用易燃、易爆性气体，例如：氢气、乙炔…
· 附加的配件 · 特殊的电极和托盘 · 特殊法兰/附加法兰 · 特殊软件 · 特殊真空舱体 · 过程温度测量
- · 测试墨水(用于测试表面接触角) · 真空泵系统
