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立式设计更符合人体工程学,操作简便智能
它能提供良好的表面清洁功能和改性效果
它的优点是可靠和可重复性,即便是连续工作
PT-05由以下几个基本单元组成(如需了解具体配置及参数请联系我们)
n 一个40KHz射频电源;功率:0-300W 无极可调
n 2个浮子流量计;2路工艺气体通道
n 一个不锈钢舱体;尺寸φ150mm ;L 260mm
n 智能控制系统;触屏人机界面
n 一个真空泵
设备主要应用领域如下
l 半导体制造
l LED外延及封装
l 汽车制造
l 航空航天
l 科研院所
l 光伏新能源
l 生物医学
l 液晶显示
l 消费电子(手机、电脑等零配件的生产制造)
l 信息通信
l 精密光学
l 其他
相同型号的设备配置不同时外观及尺寸会有差异,请参考下
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