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主机参数规格
射频发生器:40KHz;0-100W
整机功率:不超过300W (不含真空泵)
清洗舱规格:φ 130mm ; L 160mm ;不锈钢材质舱体+舱门带有观察窗
清洗舱有效容积:大约3L
气体流量计:1路浮子流量计
控制系统:半自动控制
数字计时器:可设定处理时间 1-9999S
工艺气体接口:标准内径4mm,外径6mm软管
整机供电:220V / 8A
整机尺寸:W 650mm ; H 300mm ; D 450mm
配套附件:托盘一个,波纹管一条(连接主机与真空泵),快插转换头一个(6mm)
真空泵参数
型号:VRI-2
抽速:2m³/h
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