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台阶仪/3D表面轮廓仪/白光干涉仪 美国芦华
NanoMap Series 3D Surface Profilometer
美国AEP（AEP Technology, Inc.）
| NanoMap-D 双模式三维表面轮廓仪（台阶仪） | ||
| 世上第一台，也是唯一同时具备探针式扫描和白光干涉扫描功能的轮廓仪。既方便分析各种材料、器件、工具等的表面形貌，又节省了宝贵的空间、费用。有些表面不适合探针测量，因为容易损伤样品；有些表面不适合干涉仪，因为相邻材料光学性质差异太大。这台设备以强有力的竞争为您提供两种选择。 | ||
| 3D接触式探针扫描(contact profiler) | 台阶重复率 | 5A |
| fine模式Z高度范围 | 5μm | |
| coarse模式Z高度范围 | 500μm(可选1.5mm) | |
| Tip Scan模式(XY) | 最大50μm | |
| Stage Scan模式(XY) | 最大150mm(可选200mm等) | |
| 探针压力 | 0.03-100mg | |
| 样品台 | 150*150mm(可选200*200mm等) | |
| 3D非接触光学扫描(optical profiler) | 台阶重复率 | 1A |
| CCD分辨率 | 1024*1024/1536*1536/1920*1920 | |
| 物镜 | 2.5x/5x/10x/20x/50x/100x | |
| 样品反光率 | 0.4-100% | |
| 最大样品厚度 | 50mm( 可选100mm) | |
| 样品台旋转 | 360度 | |
| 样品台倾斜 | 4度 | |
| 应力分析 | ||
