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    CIOTA 系列三坐标测

    Applied to the semiconductor industry:

    Testing Equipment-Surface Detection-其他

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    National

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    model:

    Own series:Testing Equipment-Surface Detection-其他

     CIOTA 系列三坐标测

    来自意大利经典设计,采用优质钢材和天然花岗岩作为机械本体的主要材料,确保在恶劣条件下的高精度检测。稳定的机械结构能适合多种测量场合,灵活的测头和软件配置涵盖了从计量室到车间各种工件的检测。

    机型的特点:
    桥式移动结构,具备敞开的测量空间;
    全封闭的三轴结构设计,保证了整机精度的长期稳定;
    工作台为整体天然花岗岩;
    加厚的工作台设计,可满足大承重、高精度的测量要求;
    可配置各种触发、扫描测头;
    可配置高精度光栅检测系统;
    可选配温度补偿系统;
    模块化设计可满足用户特殊定制要求。
     
     
     

     

    工作环境要求
    测量机室的温度:20℃±2℃;测量机室的湿度:25%-75%
    测量机周围环境的最大温度梯度: 1℃/h , 1℃/m
    机械振动:
    频率0.2—2 Hz,振幅<5×10-6m
    频率2—20 Hz,速度<50×10-6m/s
    频率20—200 Hz,加速度<5×10-3m/s2
     
    供气系统:
    最小供气压力:0.6 Mpa 耗气量:0.2 m3/min 气管外径:Φ6 mm
    供电系统:
    功耗:3 kw 电压:220 v±5%  频率:50 Hz
    电流:15 A
    专用地线电阻≤5 Ω
     

     

     
     

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