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    PEARL系列三坐标测量机——中小零部件精密检测

    Applied to the semiconductor industry:

    Testing Equipment-Surface Detection-其他

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    National

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    model:

    Own series:Testing Equipment-Surface Detection-其他

     

    PEARL系列三坐标测量机——中小零部件精密检测

    该系列三坐标测量机采用先进的结构设计和工艺技术,轻便高效,适用于中小零部件测量任务,满足生产测量要求,具备最佳性价比。

     

     

    机型的特点

    桥式移动结构,人机工程学设计;敞开的测量空间更具操作性;

    三轴均采用天然花岗岩材料,具有一致的刚性和膨胀性;

    内置钢丝的增强型同步带,使整机具有优良的动态性能;

    三轴空气轴承全封闭设计,确保精度的长期稳定性;

    可配置各种触发、扫描测头;

    高分辨率光栅检测系统;

    可选配温度补偿系统。

     

     

     

    规格型号

     

    工作环境要求
    测量机室的温度:20℃±2℃;测量机室的湿度:25%-75%
    测量机周围环境的最大温度梯度: 0.1℃/h ,0.1℃/m
    机械振动:
    频率0.2—2 Hz,振幅<5×10-6m
    频率2—20 Hz,速度<50×10-6m/s
    频率20—200 Hz,加速度<5×10-3m/s2
     
    供气系统:
    最小供气压力:0.6 Mpa 耗气量:0.2 m3/min 气管外径:Φ6 mm
    供电系统:
    功耗:3 kw 电压:220 v±5%  频率:50 Hz
    电流:15 A
    专用地线电阻≤5 Ω

     

     

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