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等离子体刻蚀机 北京中科信电子装备有限公司
等离子体刻蚀(PE)是指利用能与被刻蚀材料起化学反应的气体，通过辉光放电使之形成低温等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料未被掩蔽的部分或蚀刻表面。属干法刻蚀设备。
等离子体处理可应用于所有的基材，甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗，等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低，因此，低压等离子体也能处理敏感性材料。
主要工作特点：
1.采用ICP技术，独特的结构设计，减少射频干扰，提高了刻蚀速率及工艺稳定性；
2.独特的密布小孔喷淋式设计，扩大了刻蚀范围，并且提高刻蚀的均匀性；
3.先进的干式真空系统减少了油气污染，大大提升了刻蚀的良品率；
4.具有手动/自动操作模式，方便灵活；
5.结构紧凑，占地面积小。
主要技术参数
