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(型号:SWM-100)
技术参数
1. 主要规格
1.1 框架尺寸: 6或8英寸 (DISCO标准) 客户指定
1.2 膜种类: 蓝膜或者UV膜
宽度: 230毫米(6英寸框架)300毫米(8英寸框架)
长度: 100米
厚度: 0.05~0.2毫米
1.3 晶圆规格: 4,5,6,8英寸 客户指定
1.4 晶圆厚度: 150-750um
1.4 贴膜原理: 防静电滚轮贴膜(自动贴膜)
1.5 工作台盘: 特氟隆涂层接触式台盘(工作台有加热,温度为:常温-100°C)
1.6 装卸方式: 产品手动放置与取出
1.7 切割系统: 直线刀切割仅在框架以外5毫米处,圆切割刀顺时针方向旋转切割。
独特的直切刀技术保证在同类机台胶膜应用最节省
1.8产品定位: CHUCK TABLE上对应WAFER形状的刻线,真空吸固定WAFER
1.9电力供应: 单相交流电220V,5A
1.10压缩空气: 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺
1.11体积: 560毫米(宽)*860毫米(深)*510毫米(高)
1.12净重: 75公斤
2. 机器性能:
2.1 晶圆收益: >=99.9%
2.2 贴膜质量: 没有气泡(不包括碎粒气泡)
2.3 每小时产能: >=80 片
3. 安装,培训及验收:
3.1 卖方负责将机器安装,调机,试运行及性能测试
3.2 卖方给于买方内部操作员工,工程师, 维护人员完善的技术培训直到他们可以稳定独立地操
作机器
4. 保修条款:
4.1 卖方保证设备完全满足买方正常生产要求及购买规格
4.2 保修期为买方正式验收起12个月内
5. 其他说明 :
5.1 设备自动拉膜,自动贴膜,达到省力,易操作的效果
5.2 自动贴膜,贴膜质量好,贴膜压力可以调节
5.3 自动拉膜能够良好的控制每片的拉膜长度,让膜在前后两边超出铁环长度控制在1cm左右,达到省膜的效果
5.4 双层膜的隔离层采用力拒马达回收
5.5 设备电器,气动等标准件采用进口品牌
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