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Primo AD-RIE™是中微公司用于流程前端(FEOL)及后端(BEOL)关键刻蚀应用的第二代电介质刻蚀设备,主要用于22纳米及以下的芯片刻蚀加工。基于前一代产品Primo D-RIE刻蚀设备已被业界认可的性能和良好的运行记录,Primo AD-RIE做了进一步的改进:采用了具有自主知识产权的可切换低频的射频设计,优化了上电极气流分布及下电极温度调控的设计。
Primo AD-RIE已经成功通过了3000片晶片马拉松测试。除已证实其具备更优越的重复性及稳定性以外,该产品还可将晶片上关键尺寸均匀度控制在2纳米内。
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