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产品名称：URE-2000S/A型紫外光刻机 |
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主要技术指标： |
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| 曝光面积：150mm×150mm | ||
| 分辨力：1μm（胶厚1.5 μm的正胶） | ||
| 对准精度：±3μm（双面） | ||
| 最大胶厚：500μm（SU8胶） | ||
| 掩模尺寸:3inch、4 inch、5 inch、7 inch | ||
| 样片尺寸：直径Ф30mm--Ф150mm 厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm) | ||
| 照明均匀性：±3.5%Ф100mm) ±5.5%(Ф150mm) | ||
| 汞灯功率：1000W（直流） | ||
| 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° | ||
技术特点： |
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| 该机采用国内首创的CCD图像底面对准技术，单曝光头正面曝光实现双面对准的总体设计技术。采用新颖的高精度、多自由度掩模—样片精密对准工件台结构设计，掩模—样片对准过程直观，套刻对准速度快、精度高。掩模板与样片的放置采用推拉式基准平板、真空吸附式，操作方便。 | ||
