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URE-2000A型光刻机上海佰芯

◆ 曝光面积：150mm×150mm
◆ 分辨力：0.8-1μm（胶厚2μm的正胶）
◆ 对准精度：0.6μm
◆ 掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm
◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
◆ 样片尺寸：直径15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm
◆ 照明均匀性： 3.5%（100mm 范围）； 5%（ 150mm范围）
◆ 掩模相对于样片运动行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度
◆ 最大胶厚：500m(SU8胶，用户提供匀胶条件)
◆ 光源平行性：3.5
◆ 汞灯功率：1000W（直流）
◆ 曝光设定方式：定时（倒计时方式0.1s-999.9s任意设定）
◆ 外形尺寸:1400mm（长）1200mm(宽) 2150mm（高）

（1）曝光头
◆冷光椭球镜
◆1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)
◆XYZ汞灯调节台
◆光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（100个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
◆冷却风扇
◆循环水冷系统
（2）对准工件台
◆掩模样片整体运动台
◆掩模样片相对运动台
◆转动台
◆样片调平机构,自动完成
◆样片调焦机构，自动调
◆承片台4个（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）
◆掩模夹4个（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）
◆基片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
◆光源（配备品2只）、电源
◆双目双视场对准显微镜主体
◆目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
◆物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
（4）CCD对准系统
◆光源（配备品3只）、电源
◆成像光学系统
◆数据采集卡
◆CCD
（5）电控系统
◆汞灯触发电源(1000W直流汞灯)
◆单片机控制系统
◆控制柜桌
◆计算机系统及液晶显示器(21寸宽屏)
（6）气动系统
◆气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
◆电磁阀驱动
◆气动仪表
（7）其他附件
◆真空泵一台（无油泵）
◆空压机一台（静音泵）
◆管道
（8）技术资料
◆使用维修说明书
◆显微镜使用说明书