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SVT Associates' NorthStar™ 原子层沉积(ALD)系统
工作原理:
一个ALD 周期 由2个不同的表面化学反应组成, 反应可自我终结,所以只有一个原子层的薄膜会在衬地的表面上生长。在一层接一层的生长过程中,薄膜可以高度保型和厚度均匀。而薄膜的厚度可以在纳米范围内由反应周期的数量来控制。
特点:
应用范围:
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